镜头对焦系统:行星减速机驱动光学镜头的Z轴升降,微米级步进(如1μm/步)确保成像清晰度,背隙需≤1弧分。
载物台移动:X-Y轴平移台采用行星减速机+直线模组,重复定位精度±0.005mm(如半导体晶圆检测)。
旋转扫描:360°分度盘搭配100:1减速比,角分辨率达0.001°(如齿轮轮廓检测仪)。
扭矩加载系统:通过减速机放大伺服电机扭矩(如50:1),实现0.1%满量程精度(如材料疲劳试验机)。
高频往复运动:行星齿轮的均载设计可承受200Hz正弦波负载(如汽车部件耐久测试)。
接触式测量:减速机刚性抑制探针接触瞬间的反冲(如三坐标测量机Z轴刚性需>100N/μm)。
纳米级定位:谐波-行星复合减速方案实现0.1nm分辨率(如原子力显微镜扫描台)。
需求 | 行星减速机解决方案 | 检测设备关联指标 |
---|---|---|
消除空回 | 预紧齿轮/斜齿设计,背隙≤1弧分 | 重复定位误差≤±0.002mm |
抗振动 | 高扭转刚度(>10⁴ Nm/rad) | 振动幅值<0.1μm(1kHz带宽) |
微动控制 | 低齿面粗糙度(Ra<0.4μm) | 速度波动率<0.01% |
环境适应 | IP65防护+耐油脂密封 | 40dB噪声等级(洁净室要求) |
检测设备类型 | 减速比选择 | 扭矩需求 | 特殊要求 |
---|---|---|---|
液晶面板缺陷检测 | 10:1 ~ 30:1 | 2~20Nm | 无磁性材料(防电磁干扰) |
轴承游隙测量仪 | 50:1 ~ 100:1 | 50~300Nm | 零反向间隙 |
生物芯片扫描台 | 3:1 ~ 5:1 | 0.5~5Nm | 真空兼容(10⁻⁶ Pa) |
半导体检测(KLA-Tencor):行星减速机驱动晶圆台,实现300mm晶圆全幅扫描±0.1μm定位。
汽车零部件气密检测:搭配步进电机,0.1s内完成10°分度旋转,泄漏检测分辨率0.01Pa。
医疗CT机旋转架:精密行星减速机(背隙≤30角秒)支撑500kg负载连续旋转,图像伪影率<0.1%。
精度匹配:选择减速机精度等级至少比设备要求高1级(如设备需±0.01mm则减速机需±0.003mm)。
动态校核:计算负载惯量比(建议<5:1),避免振荡(如激光测振仪要求阶跃响应<10ms)。
热管理:连续运行时温升需<45K(红外热像仪检测场景要求)。
直接驱动替代:磁编码器+零背隙行星减速机方案成本比直驱低30%,精度相当(如EtherCAT总线控制)。
智能补偿:集成应变片实时监测齿轮变形,通过软件补偿提升寿命(如预测性维护系统)。
润滑优化:全合成润滑脂(如Kluber Pasta-46)可将维护周期延长至5年。
振动监测:安装MEMS加速度传感器,齿轮磨损早期预警(FFT分析3kHz以上频段)。
在检测设备中,行星减速机的合理应用可使MTBF(平均无故障时间)突破50,000小时,同时将测量不确定度降低至纳米级(如纳米压痕仪)。需特别注意与光栅尺/编码器的协同控制,以实现闭环精度补偿。
产品名称:SE040-B-D-A
输入电源:AC220V-240V,-15% - 10% , 50/60HZ
使用环境温度:0-55°C
使用环境湿度:20-85%RH
绝缘耐压:初级-FG之间AC1500,1分钟
控制方式:三箱PWM变流器正弦波驱动
编码器反馈:17bit,23bit(追加电池后,用作多圈绝对式编码器的功能)
控制信号:输入DI信号4路,(DC24V光耦隔离)可以功能切换。
输出DO信号4路,带Z相脉冲输出,集电极开路光耦输出。
通信功能:RS-485通讯。
再生功能:适配再生电阻,可外接再生电阻。
控制模式:脉冲控制,速度控制,扭矩控制,混合控制等6种模式。
输入功能:报警复位,比例动作切换,零位固定功能使能,禁止正向驱动,禁止反向驱动
正转外部转矩限制,反转外部转矩限制,正向点动,反向点动,正向复位开关,
反向复位开关,原点开关,紧急停机,伺服使能。
输出功能:伺服准备好,电机旋转中,零速信号,速度到达,位置到达,定位接近信号,
转矩限制中,速度限制中,制动器输出,警告,伺服故障,警报代码。
最大指令脉冲频率:500Kpps
输入脉冲信号形态:差分输入,集电极开路。
输入脉冲信号方式:脉冲+方向,直角相位差(A相+B相)、CW+CCW脉冲。
电子齿轮比设置:0.1-419430
指令滤波器:平滑滤波器/FIR滤波器
脉冲输出形态:A相/B相:差分输出
Z相:差分输出或集电极开路输出
分频比:任意分频。
脉冲输出功能:编码器位置脉冲与位置脉冲指令。
保护功能:过电压,电源异常,过电流,过载,编码器异常,过速度,位置偏差过大,参数异常。
产品名称:哈默纳科CS40谐波减速器
型号:CS40-100规格范围:40
减速比:100
回程间隙:≤20角秒
额定输出扭矩:265牛·米
启动和停止时允许的峰值扭矩:568牛·米
允许的平均负载扭矩最大值:372牛·米
允许的最大瞬时扭矩:1080牛·米
允许的最大输入转速:4000转/分钟
允许的平均输入转速最大值:3500转/分钟
重量:3.11千克
设计寿命:10000小时
波发生器 - A:∮14
波发生器 - A:∮19
波发生器 - A:∮22
工作温度: - 20℃~ + 90℃
产品名称:CS32谐波减速器
型号:CS32-100
规格范围:32
减速比:100
回程间隙:≤20角秒
额定输出扭矩:137牛·米
启动和停止时允许的峰值扭矩:333牛·米
允许的平均负载扭矩最大值:236牛·米
允许的最大瞬时扭矩:647牛·米
允许的最大输入转速:4800转/分钟
允许的平均输入转速最大值:3500转/分钟
重量:3.11千克
设计寿命:10000小时
波发生器 - A:∮14
波发生器 - A:∮19
波发生器 - A:∮22
工作温度: - 20℃~ + 90℃
产品名称:CS25谐波减速器
型号:CS25- 100
规格范围:25
减速比:100
回程间隙:≤20角秒
额定输出扭矩:67牛·米
启动和停止时允许的峰值扭矩:157牛·米
允许的平均负载扭矩最大值:108牛·米
允许的最大瞬时扭矩:284牛·米
允许的最大输入转速:5600转/分钟
允许的平均输入转速最大值:3500转/分钟
重量:1.5千克
设计寿命:10000小时
波发生器 - A:∮11
波发生器 - A:∮14
工作温度: - 20℃~ + 90℃